抽氣速率測(cè)量裝置如圖所示。為了測(cè)量抽氣速率，試驗(yàn)罩、真空計(jì)和流量計(jì)應(yīng)與泵連接。

關(guān)閉微調(diào)閥5，開泵運(yùn)轉(zhuǎn)，待泵運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定并達(dá)到極限壓力后，開啟微調(diào)閥5，把試驗(yàn)氣體引入罩內(nèi)，

建立一個(gè)設(shè)定的平衡壓力，用真空計(jì)測(cè)其壓力值，同時(shí)用流量計(jì)測(cè)量氣體流量。按規(guī)定進(jìn)行抽氣速率的計(jì)算。測(cè)量應(yīng)從接近極限壓力的適當(dāng)壓力值開始，直到適合泵結(jié)構(gòu)特點(diǎn)的允許壓力。每個(gè)壓力數(shù)量級(jí)內(nèi)至少測(cè)三點(diǎn)（其分布基本符合2.5、5、10）。若測(cè)一次流量時(shí)間較長(zhǎng)，取60s為一周期，壓力應(yīng)重復(fù)測(cè)量，并取其平均值。如果最高與最低之差大于平均值10%，流量和壓力都應(yīng)重新測(cè)量。