真空檢漏儀UL3000 Fab，PLUS、ULTRA

憑借我們大獲成功的最新一代UL系列智能產(chǎn)品，將為您的工藝設備減少維護，甚至比從前更加安全。在泄漏檢測期間，您的處理設備將不會受到污染。所有泄漏都將被可靠地檢測出來。維護后，一定能夠通過耗時的壓力上升測試。

UL3000 Fab干式氦檢漏儀的設計適用于需要最高清潔度的各種應用，例如，清潔室內(nèi)半導體制造設備的維護和生產(chǎn)。

優(yōu)勢

?節(jié)省時間

通過I·CAL軟件算法節(jié)省時間，實現(xiàn)快速測量，測量范圍為10-9 - 10-12 mbar l/s。

?檢測效率高

I·ZERO 2.0適用于快速背景抑制。抽空和響應速度快，將泄漏工作量降至最低。

?高成本效益

采用功能強大的離子源和逆流真空系統(tǒng)，低使用成本。

?易于使用和集成

配備全彩高清可旋轉(zhuǎn)顯示屏的HMI界面，使用簡便，提供直觀操作指導。

應用

?半導體行業(yè)

?太陽能行業(yè)

?激光技術

?醫(yī)療技術

?以及電子器件、加速器、涂層系統(tǒng)、氣體供應系統(tǒng)、顯示工具、密封電子設備的泄漏檢測等