UL1000 Fab將工廠環(huán)境系統(tǒng)內(nèi)的易用性、泄漏檢測(cè)效率和機(jī)動(dòng)性作為優(yōu)先考慮因素，在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)都能做出極快的漏率響應(yīng)。UL1000 Fab采用經(jīng)過優(yōu)化的真空結(jié)構(gòu)，兼具高速氦抽速與高進(jìn)氣口壓強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，漏率穩(wěn)定性降低至前所未有的5 × 10-12 atm cc/s。專有軟件I?CAL (漏率智能算法)解決了低漏率范圍內(nèi)響應(yīng)時(shí)間較長(zhǎng)的問題，因?yàn)閁L1000 Fab能夠?qū)λ新┞史秶焖僮龀鲰憫?yīng)。通過增加TC1000測(cè)試室附件，UL1000Fab氦氣泄漏檢測(cè)儀能夠簡(jiǎn)單、快速、精確地測(cè)試密封件，例如集成電路組件、石英晶體和激光二極管(根據(jù)MIL-STD 883標(biāo)準(zhǔn)，方法1014)。

優(yōu)勢(shì)

?檢測(cè)效率高

通過縮短抽空時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間，可最大程度地加快檢漏速度。

選擇本底抑制(I·ZERO)功能，可避免反復(fù)多次檢漏。

?高成本效益

配備經(jīng)久耐用的雙燈絲離子源(保修期3年)和逆流式真空系統(tǒng)，降低總體擁有成本(TCO)。

?易于使用和集成

采用緊湊型設(shè)計(jì)，方便進(jìn)入空間受限的維修區(qū)域。

配備旋轉(zhuǎn)顯示單元、聲光泄漏提示及可選配的遙控器，使用簡(jiǎn)便。

?低維護(hù)

內(nèi)置測(cè)試漏孔帶自動(dòng)校準(zhǔn)程序，維護(hù)量低。

應(yīng)用

泄漏測(cè)試對(duì)象：

?元件

?工藝室

?次組裝件

與以下設(shè)備一同使用：

?半導(dǎo)體工具

?平板顯示工具

?密閉性封閉電子元件的試漏

先進(jìn)的軟件自動(dòng)泄漏測(cè)試功能

此功能控制測(cè)試周期，并允許輸入以下測(cè)試參數(shù)：

?測(cè)量周期時(shí)間

?泄漏率設(shè)定值

?測(cè)試的試件數(shù)

測(cè)試周期的狀態(tài)始終可以在顯示器上監(jiān)控。可選試驗(yàn)箱TC1000(TC1000試驗(yàn)箱 [} 12])在便于使用的工作站中轉(zhuǎn)動(dòng)UL3000，以測(cè)試密封部件。

箱蓋關(guān)閉時(shí)，測(cè)試自動(dòng)開始。檢測(cè)周期短(10-9 mbar l/s，時(shí)間不超過5秒)。測(cè)試狀態(tài)始終可以在顯示器上監(jiān)控。經(jīng)過調(diào)整的周期時(shí)間后，測(cè)試停止，并將箱體排氣?？蛇x擇的“待機(jī)”模式可在停止泄漏測(cè)試的同時(shí)保持箱內(nèi)處于真空狀態(tài)。保護(hù)功能防止重大泄漏造成的氦污染，并確保連續(xù)運(yùn)行。